Vapor HF (Hydrogen Fluoride) Etcher

Chalmers tekniska högskola Aktiebolag

This procurement is made on behalf of the Quantum Technology (QT) laboratory at the department
of Microtechnology and Nanoscience (MC2), Chalmers University of Technology.
The Vapor HF (Hydrogen Fluoride) Etcher that is intended to be procured, will be installed in the NFL
cleanroom at MC2. The System is intended to help with the selective removal of the native oxide of
the silicon substrate. The purchase is supported by WACQT, but other researchers are welcome to
use the tool for applications requiring the isotropic removal of silicon oxide. The System is meant to
operate on single wafers for university R&D.

Sista ansökningsdag
Tidsfristen för mottagande av anbud var 2023-06-16. Upphandlingen offentliggjordes den 2023-05-17.

Leverantörer
Följande leverantörer nämns i tilldelningsbeslut eller andra upphandlingsdokument:
Vem?

Vad?

Var?

Upphandlingshistorik
Datum Dokument
2023-05-17 Meddelande om upphandling
2023-06-08 Ytterligare upplysningar
2023-06-20 Ytterligare upplysningar
2023-10-24 Meddelande om tilldelning
Meddelande om upphandling (2023-05-17)
Upphandlande myndighet
Namn och adresser
Namn: Chalmers Tekniska Högskola Aktiebolag
Nationellt registreringsnummer: 556479-5598
Postadress: Arvid Hedvalls backe 4
Postort: Göteborg
Postnummer: 412 96
Land: Sverige 🇸🇪
Kontaktperson: Jimmy Spicer
E-post: jimmy.spicer@sidecore.se 📧
Region: Västra Götalands län 🏙️
URL: http://www.chalmers.se 🌏
Kommunikation
URL för dokument: https://tendsign.com/doc.aspx?UniqueId=afhinfbxzg&GoTo=Docs 🌏
URL för deltagande: https://tendsign.com/doc.aspx?UniqueId=afhinfbxzg&GoTo=Tender 🌏
Typ av upphandlande myndighet
Annan typ: University

Objekt
Upphandlingens omfattning
Titel: Vapor HF (Hydrogen Fluoride) Etcher C 2023-0178
Produkter/tjänster: Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas) 📦
Kort beskrivning:
“This procurement is made on behalf of the Quantum Technology (QT) laboratory at the department of Microtechnology and Nanoscience (MC2), Chalmers University...”    Visa mer

1️⃣
Plats för genomförandet: Västra Götalands län 🏙️
Huvudort eller plats för utförandet: Göteborg
Beskrivning av upphandlingen:
“This procurement covers one (1) Vapor HF (Hydrogen Fluoride) Etcher, as specified in section 5. Specification of requirements. In a large group of devices...”    Visa mer
Kriterier för tilldelning
Priset är inte det enda tilldelningskriteriet och alla kriterier anges endast i upphandlingsdokumenten
Kontraktets, ramavtalets eller det dynamiska inköpssystemets varaktighet
Nedanstående tidsramar uttrycks i antal månader.
Beskrivning
Varaktighet: 24

Förfarande
Typ av förfarande
Öppet förfarande
Administrativ information
Tidsfrist för mottagande av anbud eller begäran om deltagande: 2023-06-16 23:59 📅
Språk på vilka anbud eller ansökningar om deltagande kan lämnas in: svenska 🗣️
Anbudet skall vara giltigt till och med: 2023-09-18 📅
Villkor för öppnande av anbud: 2023-06-19 00:00 📅

Kompletterande information
Ytterligare information
Mercell notice: https://opic.com/id/afhinfbxzg
Granskningsorgan
Namn: Förvaltningsrätten i Göteborg
Postort: Göteborg
Land: Sverige 🇸🇪
Källa: OJS 2023/S 097-305265 (2023-05-17)
Ytterligare upplysningar (2023-06-08)

Kompletterande information
Ursprunglig referens till meddelandet
Nummer på meddelandet i EUT S: 2023/S 097-305265

Ändringar
Text som skall rättas i det ursprungliga meddelandet
Avsnittets nummer: IV.2.2)
Plats för den text som ska ändras: Time limit for receipt of tenders or requests to participate
Gammalt värde
Datum: 2023-06-16 📅
Tid: 23:59
Nytt värde
Datum: 2023-06-26 📅
Tid: 23:59
Text som skall rättas i det ursprungliga meddelandet
Avsnittets nummer: IV.2.7)
Plats för den text som ska ändras: Conditions for opening of tenders
Gammalt värde
Datum: 2023-06-19 📅
Tid: 00:00
Nytt värde
Datum: 2023-06-27 📅
Tid: 00:00
Annan kompletterande information
Mercell notice: https://opic.com/id/afkwamzmiz
Källa: OJS 2023/S 112-351525 (2023-06-08)
Ytterligare upplysningar (2023-06-20)

Ändringar
Text som skall rättas i det ursprungliga meddelandet
Avsnittets nummer: IV.2.2)
Plats för den text som ska ändras: Time limit for receipt of tenders or requests to participate
Gammalt värde
Datum: 2023-06-26 📅
Tid: 23:59
Nytt värde
Datum: 2023-07-24 📅
Tid: 23:59
Text som skall rättas i det ursprungliga meddelandet
Avsnittets nummer: IV.2.6)
Plats för den text som ska ändras:
“Minimum time frame during which the tenderer must maintain the tender, Tender must be valid until”
Gammalt värde
Datum: 2023-09-18 📅
Nytt värde
Datum: 2023-10-24 📅
Text som skall rättas i det ursprungliga meddelandet
Avsnittets nummer: IV.2.7)
Plats för den text som ska ändras: Conditions for opening of tenders
Gammalt värde
Datum: 2023-06-27 📅
Tid: 00:00
Nytt värde
Datum: 2023-07-25 📅
Tid: 00:00
Annan kompletterande information
Mercell notice: https://opic.com/id/afrctbiett
Källa: OJS 2023/S 119-373393 (2023-06-20)
Meddelande om tilldelning (2023-10-24)
Objekt
Upphandlingens omfattning
Upphandlingens totala värde (exklusive moms): EUR 215 000 💰
Kriterier för tilldelning
Pris

Förfarande
Administrativ information
Tidigare publikation om detta förfarande: 2023/S 097-305265

Tilldelning av kontrakt

1️⃣
Datum för ingående av avtalet: 2023-09-20 📅
Information om anbud
Antal mottagna anbud: 2
Entreprenörens namn och adress
Namn: SPTS Technologies
Nationellt registreringsnummer: 07037852
Postadress: Ringland Way
Postort: Newport
Postnummer: NP18 2TA
Land: Storbritannien 🇬🇧
E-post: james.pearce@spts.com 📧
Region: United Kingdom 🏙️
URL: http://www.orbotech.com 🌏
Entreprenören är ett litet eller medelstort företag
Uppgifter om kontraktets/partiets värde (exklusive moms)
Kontraktets/lottens totala värde: EUR 215 000 💰

Kompletterande information
Ytterligare information
Mercell notice: https://opic.com/id/afonfqlilj
Källa: OJS 2023/S 208-657481 (2023-10-24)
Relaterade sökningar 🔍