Silicon Deep Reactive Ion Etch System and PECVD for Dielectric Materials

Chalmers tekniska högskola Aktiebolag

This procurement is made on behalf of The Department of Microtechnology and Nanoscience (MC2), Chalmers University of Technology.
This procurement aims at replacing two of our old processing equipments at Myfab Chalmers, one (1) silicon deep reactive ion etch system (Si DRIE) and one plasma enhanced chemical vapour deposition system (PECVD for dielectric materials) to further consolidate and enhance our processing capabilities.

Sista ansökningsdag

Tidsfristen för mottagande av anbud var 2021-03-03. Upphandlingen offentliggjordes den 2021-02-01.

Leverantörer

Följande leverantörer nämns i tilldelningsbeslut eller andra upphandlingsdokument:

Vem?

• Chalmers tekniska högskola Aktiebolag

Vad?

• Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas)

Var?

• Västsverige › Västra Götalands län

Upphandlingshistorik

Datum	Dokument
2021-02-01	Meddelande om upphandling
2021-02-25	Ytterligare upplysningar
2024-08-21	Meddelande om tilldelning

Meddelande om upphandling (2021-02-01)
Objekt
Upphandlingens omfattning
Titel: Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas)
Referensnummer: C 2019-1869
Kort beskrivning:

This procurement is made on behalf of The Department of Microtechnology and Nanoscience (MC2), Chalmers University of Technology. This procurement aims at replacing two of our old processing equipments at Myfab Chalmers, one (1) silicon deep reactive ion etch system (Si DRIE) and one plasma enhanced chemical vapour deposition system (PECVD for dielectric materials) to further consolidate and enhance our processing capabilities.

Meddelandeinformation
Originalspråk: engelska 🗣️
Dokumenttyp: Meddelande om upphandling
Kontraktets art: Varor
Reglering: Europeiska unionen – inom ramen för avtalet om offentlig upphandling
Gemensam upphandlingsterminologi (CPV)
Kod: Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas) 📦
Plats för genomförandet
NUTS-region: Västra Götalands län 🏙️

Förfarande
Förfarandetyp: Öppet förfarande
Anbudstyp: Anbud på alla delar
Kriterier för tilldelning
Det ekonomiskt mest fördelaktiga

Upphandlande myndighet
Identitet
Land: Sverige 🇸🇪
Upphandlande myndighet (typ): Annat
Upphandlande myndighet (namn): Chalmers Tekniska Högskola Aktiebolag
Postadress: Arvid Hedvalls backe 4
Postnummer: 412 96
Postort: Göteborg
Kontakt
Webbadress: http://www.chalmers.se 🌏
E-post: jimmy.spicer@sidecore.se 📧
URL för dokument: https://tendsign.com/doc.aspx?UniqueId=afprqammqe&GoTo=Docs 🌏
URL för deltagande: https://tendsign.com/doc.aspx?UniqueId=afprqammqe&GoTo=Tender 🌏

Referens
Datum
Avsändningsdatum: 2021-02-01 📅
Sista anbudsdag: 2021-03-03 📅
Publiceringsdatum: 2021-02-05 📅
Identifierare
Meddelandenummer: 2021/S 025-058469
EUT-S-nummer: 25
Ytterligare information
Visma notice: https://opic.com/id/afprqammqe

Objekt
Upphandlingens omfattning
Kort beskrivning:

This procurement is made on behalf of The Department of Microtechnology and Nanoscience (MC2), Chalmers University of Technology.

This procurement aims at replacing two of our old processing equipments at Myfab Chalmers, one (1) silicon deep reactive ion etch system (Si DRIE) and one plasma enhanced chemical vapour deposition system (PECVD for dielectric materials) to further consolidate and enhance our processing capabilities.

Varaktighet: 24 månader
Plats för genomförandet
Huvudort eller plats för utförandet: Göteborg.

Förfarande
Rättslig grund: 32014L0024
Tidpunkt för mottagande av anbud: 23:59
Språk på vilka anbud eller ansökningar om deltagande kan lämnas in: engelska 🗣️
svenska 🗣️
Anbudens giltighetstid: 2021-06-03 📅
Datum för öppnande av anbud: 2021-03-04 📅
Tidpunkt för öppnande av anbud: 00:00

Upphandlande myndighet
Identitet
Nationellt registreringsnummer: 556479-5598
Annan typ av upphandlande myndighet: Foundation
Kontakt
Kontaktpunkt: Jimmy Spicer
URL för dokument: https://tendsign.com/doc.aspx?UniqueId=afprqammqe&GoTo=Docs 🌏

Kompletterande information
Granskningsorgan
Namn: Förvaltningsrätten i Göteborg
Postort: Göteborg
Land: Sverige 🇸🇪
Källa: OJS 2021/S 025-058469 (2021-02-01)

Ytterligare upplysningar (2021-02-25)
Objekt
Meddelandeinformation
Dokumenttyp: Ytterligare upplysningar

Referens
Datum
Avsändningsdatum: 2021-02-25 📅
Sista anbudsdag: 2021-03-10 📅
Publiceringsdatum: 2021-03-02 📅
Identifierare
Meddelandenummer: 2021/S 042-104895
Refererar till meddelande: 2021/S 025-058469
EUT-S-nummer: 42
Ytterligare information
Visma notice: https://opic.com/id/afxhjtbjdg
Källa: OJS 2021/S 042-104895 (2021-02-25)

Meddelande om tilldelning (2024-08-21)
Objekt
Upphandlingens omfattning
Titel: Silicon Deep reactive Ion Etch system and PECVD for dielectric materials
Referensnummer: C 2019-1869
Kort beskrivning:

This procurement is made on behalf of The Department of Microtechnology and Nanoscience (MC2), Chalmers University of Technology. This procurement aims at replacing two of our old processing equipments at Myfab Chalmers, one (1) silicon deep reactive ion etch system (Si DRIE) and one plasma enhanced chemical vapour deposition system (PECVD for dielectric materials) to further consolidate and enhance our processing capabilities.

Typ av kontrakt: Varor
Produkter/tjänster: Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas) 📦
Beräknat värde exklusive moms: 8 000 000 SEK 💰
Upphandlingens totala värde (exklusive moms): 10 000 000 SEK 💰
Information om partier
Detta kontrakt är uppdelat i flera delar ✅

1️⃣
Intern identifierare: C 2019-1869
Titel: General requirements (1)
Beskrivning av upphandlingen:

This procurement covers the following: 1. one Silicon Deep reactive Ion Etch system (Si DRIE) 2. one Plasma enhanced chemical vapour deposition for dielectric materials (PECVD for dielectric materials) Tenders may be submitted for one of the units or for both. Tender evaluation will be carried out per unit.

Land: Sverige 🇸🇪
Plats för genomförandet: Västra Götalands län 🏙️
Kriterier för tilldelning
Pris ✅
Kvalitetskriterium (namn): 7.3.2.4 Upgradeable
7.3.2.5 Carrier wafers
7.3.2.19 Viewports
Titel
Partiets identifikationsnummer: LOT-0001

2️⃣
Titel: Tenderer's suitability
Beskrivning av upphandlingen: Please refer to section 4. TENDERER'S SUITABILITY in the RFT.
Titel
Partiets identifikationsnummer: LOT-0002

3️⃣
Titel: Deep reactive Ion Etch system (DRIE)
Beskrivning av upphandlingen:

This section covers a Silicon Deep reactive Ion Etch system (Si DRIE) The system is intended for anisotropic deep reactive ion etching of silicon substrates using the Bosch process. Substrate sizes, which will be etched in the system, will range from 150 mm in diameter to sub- cm2 small substrates. Both standard bulk silicon wafers as well as silicon-on-insulator (SOI) wafers will be etched in the system. The system will also, occasionally, be used to do isotropic silicon etching with SF6, and thinning down silicon substrates. For etching of small substrates in the system, carrier wafers, 150 mm in diameter, will be used for mounting. Process acceptance tests will be carried out on silicon wafers of size 150 mm diameter. The system must be new and of highest quality. Refurbished instruments are not acceptable for this request.

Titel
Partiets identifikationsnummer: LOT-0003

4️⃣
Titel: PECVD for dielectric materials
Beskrivning av upphandlingen:

This section covers a PECVD for dielectric materials. The system is intended for deposition of thin layers of silicon dioxide (SiO ) silicon nitride (Si N ) and silicon oxynitride(SiO N ) . The system must be new and of highest quality. Refurbished instruments are not acceptable for this request. For further information - please refer to section 7 in the RFT

Titel
Partiets identifikationsnummer: LOT-0004

Förfarande
Typ av förfarande
Öppet förfarande ✅
Rättslig grund: Direktiv 2014/24/EU

Tilldelning av kontrakt

1️⃣
Ett kontrakt/parti tilldelas ✅
Partiets identifikationsnummer: LOT-0001
Kontraktets nummer: -1
Datum för ingående av avtalet: 2021-08-17 📅
Titel: General requirements (1)-Oxford Instruments Plasma Technology
Information om anbud
Antal mottagna anbud: 10
Identifierare för anbudsgivare: Chalmers - Versaline LLH DSE-III
Identifierare för del eller grupp av delar: LOT-0001
Entreprenörens namn och adress
Namn: Plasma-Therm, LLC
Nationellt registreringsnummer: 263799591
Avdelning: Sales
Postadress: 10050 16th Street North
Postnummer: 33716
Postort: St. Petersburg
Land: USA 🇺🇸
Kontaktpunkt: Florence OLIVIER
E-post: florence.olivier@plasmatherm.com 📧
Telefon: +17275774999 📞
Identifierare för anbudsgivare: PECVD
Namn: Elettrorava SpA
Nationellt registreringsnummer: 00472890011
Postadress: Via Don Sapino 176
Postnummer: 10078
Postort: Venaria
Region: Milano 🏙️
Land: Italien 🇮🇹
Kontaktpunkt: Paolo Rava
E-post: paolo.rava@elettrorava.com 📧
Telefon: +390114240237 📞
Identifierare för anbudsgivare: SPTS - Chalmers Uni Tender
Namn: SPTS Technologies
Nationellt registreringsnummer: 07037852
Postadress: Ringland Way
Postnummer: NP18 2TA
Postort: Newport
Region: South West Wales 🏙️
Land: Storbritannien 🇬🇧
Kontaktpunkt: James Pearce
E-post: james.pearce@spts.com 📧
Telefon: +44 1633 414000 📞
Identifierare för anbudsgivare: Silicon Deep reactive Ion Etch system and PECVD for dielectric materials
Namn: Singulus technologies ag
Nationellt registreringsnummer: 812306520
Postadress: Hanauer Landstrasse 103
Postnummer: 63796
Postort: Kahl am Main
Region: Heidenheim 🏙️
Land: Tyskland 🇩🇪
Kontaktpunkt: Thomas Kuenzl
E-post: thomas.kuenzl@singulus.de 📧
Telefon: +4961884400 📞
Namn: Samco Inc.
Nationellt registreringsnummer: 4130001014511
Postadress: 36 Waraya-cho, Takeda, Fushimi-ku
Postnummer: 6128443
Postort: Kyoto
Land: Japan 🇯🇵
Kontaktpunkt: Shogo Uehara
E-post: uehara@samcointl.com 📧
Telefon: +81-75-621-7841 📞
Identifierare för anbudsgivare: PlasmaPro100 Estrelas and PECVD
Namn: Oxford Instruments GmbH
Nationellt registreringsnummer: 21599
Avdelning: Försäljning
Postadress: Borsigstrasse 15a
Postnummer: 65205
Postort: Wiesbaden
Region: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️
Kontaktpunkt: Michael Stokeley
E-post: mike.stokeley@oxinst.com 📧
Telefon: +49 (0) 6122 937 161 📞
Identifierare för anbudsgivare: Chalmers University
Namn: Plasma-Therm Europe
Nationellt registreringsnummer: 45341369200030
Postadress: 266 chemin des Franques
Postnummer: 38190
Postort: Bernin
Region: Bouches-du-Rhône 🏙️
Land: Frankrike 🇫🇷
E-post: corial@corial.com 📧
Telefon: 476011010 📞

2️⃣
Partiets identifikationsnummer: LOT-0002
Identifierare för del eller grupp av delar: LOT-0002

3️⃣
Partiets identifikationsnummer: LOT-0003
Information om anbud
Antal mottagna anbud: 4
Identifierare för del eller grupp av delar: LOT-0003

4️⃣
Partiets identifikationsnummer: LOT-0004
Antal mottagna anbud: 6
Identifierare för del eller grupp av delar: LOT-0004

Upphandlande myndighet
Namn och adresser
Namn: Chalmers Tekniska Högskola Aktiebolag
Nationellt registreringsnummer: 5564795598
Avdelning: Inköp och upphandling
Postadress: Chalmers tekniska högskola
Postnummer: 41296
Postort: Göteborg
Region: Västra Götalands län 🏙️
Land: Sverige 🇸🇪
Kontaktpunkt: Jimmy Spicer
E-post: jimmy.spicer@sidecore.se 📧
Telefon: 031-7721000 📞
URL: http://www.chalmers.se 🌏
Typ av upphandlande myndighet
Offentligrättsligt organ
Huvudsaklig verksamhet
Utbildning

Kompletterande information
Granskningsorgan
Nationellt registreringsnummer: 202100-2742
Postadress: Box 53197
Postnummer: 400 15
Region: Västra Götalands län 🏙️
E-post: forvaltningsrattenigoteborg@dom.se 📧
Telefon: 031-732 70 00 📞
URL: https://www.domstol.se/forvaltningsratten-i-goteborg/ 🌏
Källa: OJS 2024/S 164-506473 (2024-08-21)

Nya upphandlingar inom relaterade kategorier 🆕

Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas) (>20 nya upphandlingar)