Procurement of a Vapour Hydrofluoric Acid (HF) Etcher

Kungliga Tekniska Högskolan

KTH intends to purchase one etching instrument that uses anhydrous hydrofluoric acid (aHF) vapour to etch sacrificial silicon dioxide (SiO₂) in the release etch of microelectromechanical (MEMS) devices.
The content of this invitation to tender is an upgrade of the KTH clean-room free-etching capabilities.
The activities of the main users of this tool are primarily focussing on microfabrication of MEMS and photonics devices.

Sista ansökningsdag

Tidsfristen för mottagande av anbud var 2019-06-26. Upphandlingen offentliggjordes den 2019-05-23.

Vem?

• Kungliga Tekniska Högskolan

Vad?

• Industrimaskiner › Diverse allmänna maskiner och specialmaskiner
• Tryckta kretskort › Halvledare

Var?

• Stockholm › Stockholms län

Upphandlingshistorik

Datum	Dokument
2019-05-23	Meddelande om upphandling
2019-07-10	Meddelande om tilldelning

Meddelande om upphandling (2019-05-23)
Objekt
Upphandlingens omfattning
Titel: Mikroelektroniska maskiner, apparater och mikrosystem
Referensnummer: V-2019-0242
Kort beskrivning:

KTH intends to purchase one etching instrument that uses anhydrous hydrofluoric acid (aHF) vapour to etch sacrificial silicon dioxide (SiO₂) in the release etch of microelectromechanical (MEMS) devices. The content of this invitation to tender is an upgrade of the KTH clean-room free-etching capabilities. The activities of the main users of this tool are primarily focussing on microfabrication of MEMS and photonics devices.

Meddelandeinformation
Originalspråk: engelska 🗣️
Dokumenttyp: Meddelande om upphandling
Kontraktets art: Varor
Reglering: Europeiska unionen – inom ramen för avtalet om offentlig upphandling
Gemensam upphandlingsterminologi (CPV)
Kod: Mikroelektroniska maskiner, apparater och mikrosystem 📦
Ytterligare CPV-kod: Elektriska maskiner, apparater och förbrukningsvaror samt elektrisk utrustning; belysning 📦
Plats för genomförandet
NUTS-region: Stockholms län 🏙️

Förfarande
Förfarandetyp: Öppet förfarande
Anbudstyp: Anbud på alla delar
Kriterier för tilldelning
Det ekonomiskt mest fördelaktiga

Upphandlande myndighet
Identitet
Land: Sverige 🇸🇪
Upphandlande myndighet (typ): Statligt verk
Upphandlande myndighet (namn): Kungliga Tekniska högskolan
Postadress: Brinellvägen 8
Postnummer: 100 44
Postort: Stockholm
Kontakt
Webbadress: http://www.kth.se 🌏
E-post: mbusk@kth.se 📧
URL för dokument: https://tendsign.com/doc.aspx?UniqueId=afzhojpszo&GoTo=Docs 🌏
URL för deltagande: https://tendsign.com/doc.aspx?UniqueId=afzhojpszo&GoTo=Tender 🌏

Referens
Datum
Avsändningsdatum: 2019-05-23 📅
Sista anbudsdag: 2019-06-26 📅
Publiceringsdatum: 2019-05-24 📅
Identifierare
Meddelandenummer: 2019/S 100-241728
EUT-S-nummer: 100
Ytterligare information
Visma notice: https://opic.com/id/afzhojpszo

Objekt
Upphandlingens omfattning
Kort beskrivning:

The content of this invitation to tender is an upgrade of the KTH clean-room free-etching capabilities.

The activities of the main users of this tool are primarily focussing on microfabrication of MEMS and photonics devices.

The principal application of the procured instrument is to employ anhydrous hydrofluoric acid (aHF) for etching sacrificial silicon dioxide (SiO₂) with very high selectivity, and without striction, in the release Etch of microelectromechanical (MEMS) devices made in silicon (Si), poly-Si, and aluminium (Al) structural materials. The new aHF instrument will primarily be used for research and development of the release of silicon MEMS devices on silicon on insulator (SoI) wafers.

The offered instrument must be a complete vapour hydroflouric acid (HF) etcher of clean-room grade.

The instrument must be offered with a suitable maintenance kit for 2 years of planned instrument maintenance without extra cost.

Varaktighet: 10 dagar
Beskrivning av alternativen:

1) A suitable process vacuum pump for the instrument;

2) A suitable HF abatement unit (scrubber).

Förfarande
Rättslig grund: 32014L0024
Tidpunkt för mottagande av anbud: 23:59
Språk på vilka anbud eller ansökningar om deltagande kan lämnas in: svenska 🗣️
engelska 🗣️
Anbudens giltighetstid: 2019-10-28 📅
Datum för öppnande av anbud: 2019-06-27 📅
Tidpunkt för öppnande av anbud: 00:00

Upphandlande myndighet
Identitet
Nationellt registreringsnummer: 202100-3054
Kontakt
Kontaktpunkt: Marina Busk
URL för dokument: https://tendsign.com/doc.aspx?UniqueId=afzhojpszo&GoTo=Docs 🌏

Kompletterande information
Granskningsorgan
Namn: Förvaltningsrätten i Stockholm
Postort: Stockholm
Land: Sverige 🇸🇪
Källa: OJS 2019/S 100-241728 (2019-05-23)

Meddelande om tilldelning (2019-07-10)
Objekt
Meddelandeinformation
Dokumenttyp: Meddelande om tilldelning

Förfarande
Anbudstyp: Ej tillämpligt
Kriterier för tilldelning
Lägsta pris

Referens
Datum
Avsändningsdatum: 2019-07-10 📅
Publiceringsdatum: 2019-07-12 📅
Identifierare
Meddelandenummer: 2019/S 133-326722
Refererar till meddelande: 2019/S 100-241728
EUT-S-nummer: 133
Ytterligare information

Motivation for cancelling The reason for cancellation is an insufficient degree of competition due to the fact that, only one tender is qualified, i.e. has fulfilled all mandatory requirements. Visma notice: https://opic.com/id/affevqjfui

Objekt
Upphandlingens omfattning
Kort beskrivning:

The principal application of the procured instrument is to employ anhydrous hydrofluoric acid (aHF) for etching sacrificial silicon dioxide (SiO₂) with very high selectivity, and without stiction, in the release etch of microelectromechanical (MEMS) devices made in silicon (Si), poly-Si, and aluminium (Al) structural materials. The new aHF instrument will primarily be used for research and development of the release of silicon MEMS devices on silicon on insulator (SoI) wafers.

The instrument must be offered with a suitable maintenance kit for two years of planned instrument maintenance without extra cost.

Referens
Ytterligare information

Motivation for cancelling

The reason for cancellation is an insufficient degree of competition due to the fact that, only one tender is qualified, i.e. has fulfilled all mandatory requirements.

Visma notice: https://opic.com/id/affevqjfui

Källa: OJS 2019/S 133-326722 (2019-07-10)

Nya upphandlingar inom relaterade kategorier 🆕

Elektriska maskiner, apparater och förbrukningsvaror samt elektrisk utrustning; belysning (>20 nya upphandlingar)

Elektroniska, elektromekaniska och elektrotekniska varor (5)

Elektronisk utrustning (4)

Mikroelektroniska maskiner, apparater och mikrosystem (2)