ICP Dry Etcher
Chalmers University of Technology
System for etching of thin layers of e.g. Silicon, Silicon nitride, Silicon dioxide, Niobium, Niobium nitride, as well as deeper structures in e.g. Silicon, Silicon carbide, and Indium phosphide substrates. The etching process modes will range from Reactive Ion Etching to Remote Plasma Etching. The system will also be used for remote plasma treatment of wafer surfaces prior bonding.
Sista ansökningsdagTidsfristen för mottagande av anbud var 2015-05-04. Upphandlingen offentliggjordes den 2015-03-24.
LeverantörerFöljande leverantörer nämns i tilldelningsbeslut eller andra upphandlingsdokument:
Vem? Vad?- • Elektronisk utrustning › Mikroelektroniska maskiner, apparater och mikrosystem
- • Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas)
Upphandlingshistorik
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2015-03-24 | Meddelande om upphandling |
| 2015-11-02 | Meddelande om tilldelning |
Meddelande om upphandling (2015-03-24)
Objekt
Upphandlingens omfattning
Titel: Elektronisk utrustning
Meddelandeinformation
Originalspråk: engelska 🗣️
Dokumenttyp: Meddelande om upphandling
Kontraktets art: Varor
Reglering: Europeiska unionen
Gemensam upphandlingsterminologi (CPV)
Kod: Elektronisk utrustning 📦
Förfarande
Förfarandetyp: Öppet förfarande
Anbudstyp: Anbud på alla delar
Kriterier för tilldelning
Det ekonomiskt mest fördelaktiga
Upphandlande myndighet
Identitet
Land: Sverige 🇸🇪
Upphandlande myndighet (typ): Annat
Upphandlande myndighet (namn): Chalmers University of Technology
Postnummer: 412 96
Postort: Göteborg
Kontakt
E-post: andreas.luiga@sidecore.se 📧
Telefon: +46 702416151 📞
Referens
Datum
Avsändningsdatum: 2015-03-24 📅
Sista anbudsdag: 2015-05-04 📅
Publiceringsdatum: 2015-03-27 📅
Identifierare
Meddelandenummer: 2015/S 061-106213
EUT-S-nummer: 61
Ytterligare information
“The Tenderer will pay for any requested hard copies of the RFT documents. Visma Commerce notice: http://www.opic.com/notice.asp?req=dithlrfw The tenderer...”
Visa mer
Objekt
Upphandlingens omfattning
Kort beskrivning:
“System for etching of thin layers of e.g. Silicon, Silicon nitride, Silicon dioxide, Niobium, Niobium nitride, as well as deeper structures in e.g. Silicon,...”
Visa mer
Referensnummer: C 2014-0599
Plats för genomförandet
Huvudort eller plats för utförandet:
“Göteborg.”
Förfarande
Anbudens giltighetstid: 3 månader
Languages
Language: engelska 🗣️
svenska 🗣️
Upphandlande myndighet
Identitet
Upphandlande myndighet (namn): Chalmers University of Technology556479-5598
Nationellt registreringsnummer: 556479-5598
Annan typ av upphandlande myndighet: Other
Kontakt
Kontaktpunkt: Department of Microtechnology and Nanoscience — MC2
Andreas Luiga
Namn: Visma Commerce AB
URL för dokument: http://www.opic.com/notice.asp?req=dithlrfw 🌏
Referens
Identifierare
Reference number attributed by the contracting authority: C 2014-0599
Ytterligare information
“The Tenderer will pay for any requested hard copies of the RFT documents.”
“Visma Commerce notice: http://www.opic.com/notice.asp?req=dithlrfw”
“The tenderer pay for the order of printed contract documents.”
Källa: OJS 2015/S 061-106213 (2015-03-24)
Objekt
Upphandlingens omfattning
Titel: Elektronisk utrustning
Meddelandeinformation
Originalspråk: engelska 🗣️
Dokumenttyp: Meddelande om upphandling
Kontraktets art: Varor
Reglering: Europeiska unionen
Gemensam upphandlingsterminologi (CPV)
Kod: Elektronisk utrustning 📦
Förfarande
Förfarandetyp: Öppet förfarande
Anbudstyp: Anbud på alla delar
Kriterier för tilldelning
Det ekonomiskt mest fördelaktiga
Upphandlande myndighet
Identitet
Land: Sverige 🇸🇪
Upphandlande myndighet (typ): Annat
Upphandlande myndighet (namn): Chalmers University of Technology
Postnummer: 412 96
Postort: Göteborg
Kontakt
E-post: andreas.luiga@sidecore.se 📧
Telefon: +46 702416151 📞
Referens
Datum
Avsändningsdatum: 2015-03-24 📅
Sista anbudsdag: 2015-05-04 📅
Publiceringsdatum: 2015-03-27 📅
Identifierare
Meddelandenummer: 2015/S 061-106213
EUT-S-nummer: 61
Ytterligare information
“The Tenderer will pay for any requested hard copies of the RFT documents. Visma Commerce notice: http://www.opic.com/notice.asp?req=dithlrfw The tenderer...”
Objekt
Upphandlingens omfattning
Kort beskrivning:
“System for etching of thin layers of e.g. Silicon, Silicon nitride, Silicon dioxide, Niobium, Niobium nitride, as well as deeper structures in e.g. Silicon,...”
Referensnummer: C 2014-0599
Plats för genomförandet
Huvudort eller plats för utförandet:
“Göteborg.”
Förfarande
Anbudens giltighetstid: 3 månader
Languages
Language: engelska 🗣️
svenska 🗣️
Upphandlande myndighet
Identitet
Upphandlande myndighet (namn): Chalmers University of Technology556479-5598
Nationellt registreringsnummer: 556479-5598
Annan typ av upphandlande myndighet: Other
Kontakt
Kontaktpunkt: Department of Microtechnology and Nanoscience — MC2
Andreas Luiga
Namn: Visma Commerce AB
URL för dokument: http://www.opic.com/notice.asp?req=dithlrfw 🌏
Referens
Identifierare
Reference number attributed by the contracting authority: C 2014-0599
Ytterligare information
“The Tenderer will pay for any requested hard copies of the RFT documents.”
“Visma Commerce notice: http://www.opic.com/notice.asp?req=dithlrfw”
Visa mer (1)
“The tenderer pay for the order of printed contract documents.”
Meddelande om tilldelning (2015-11-02)
Objekt
Meddelandeinformation
Dokumenttyp: Meddelande om tilldelning
Förfarande
Anbudstyp: Ej tillämpligt
Referens
Datum
Avsändningsdatum: 2015-11-02 📅
Publiceringsdatum: 2015-11-04 📅
Identifierare
Meddelandenummer: 2015/S 213-388875
Refererar till meddelande: 2015/S 61-106213
EUT-S-nummer: 213
Ytterligare information
“The Tenderer will pay for any requested hard copies of the RFT documents. Visma Commerce notice: http://www.opic.com/notice.asp?req=dirrfvzk”
Förfarande
Kriterier för tilldelning
Kriterium: 1. Price (70)
2. Quality and functionality (30)
Tilldelning av kontrakt
Datum för avtalstecknande: 2015-07-08 📅
Namn: Oxford Instruments Gmbh
Land: Sverige 🇸🇪
Information om anbud
Antal mottagna anbud: 2
Källa: OJS 2015/S 213-388875 (2015-11-02)
Objekt
Meddelandeinformation
Dokumenttyp: Meddelande om tilldelning
Förfarande
Anbudstyp: Ej tillämpligt
Referens
Datum
Avsändningsdatum: 2015-11-02 📅
Publiceringsdatum: 2015-11-04 📅
Identifierare
Meddelandenummer: 2015/S 213-388875
Refererar till meddelande: 2015/S 61-106213
EUT-S-nummer: 213
Ytterligare information
“The Tenderer will pay for any requested hard copies of the RFT documents. Visma Commerce notice: http://www.opic.com/notice.asp?req=dirrfvzk”
Förfarande
Kriterier för tilldelning
Kriterium: 1. Price (70)
2. Quality and functionality (30)
Tilldelning av kontrakt
Datum för avtalstecknande: 2015-07-08 📅
Namn: Oxford Instruments Gmbh
Land: Sverige 🇸🇪
Information om anbud
Antal mottagna anbud: 2
Källa: OJS 2015/S 213-388875 (2015-11-02)
Nya upphandlingar inom relaterade kategorier 🆕