Electron Beam Lithography System (EBLS)

Chalmers University of Technology

A high resolution Electron Beam Lithography System (EBLS) for Chalmers department of Microtechnology and Nanoscience — MC2.

Sista ansökningsdag
Tidsfristen för mottagande av anbud var 2015-04-13. Upphandlingen offentliggjordes den 2015-03-03.

Leverantörer
Följande leverantörer nämns i tilldelningsbeslut eller andra upphandlingsdokument:

• • Raith B.v.

Vem?

• • Chalmers University of Technology

Vad?

• • Mikroelektroniska maskiner och apparater › Elektroniska integrerade kretsar och komponentblock
• • Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas)

Var?

• • Västsverige › Västra Götalands län