Deep Reaction Ion Etcher (DRIE)

Uppsala universitet

Myfab Uppsala aims at purchasing a Deep Reaction Ion Etcher (DRIE). The purpose of the tool is to transfer patterns defined by e.g., photo- and electron beam lithography covering the pattens size range from all substrate range down to a few nanometres. The system will be used by many operators in a university laboratory environment. It must be easy to use and be insensitive to frequent change of process between batches. The processes include broad range of etching capability: low to high etch rate, wafer dicing, high uniformity, high open area, high aspect ratio, and nanometre scale. The system is intended for etching of silicon as well as other materials compatible with silicon etching, with both photoresist resins and hard masks for patterning.

Sista ansökningsdag

Deadline 2026-11-10

Vem? Vad? Var?
Upphandlingshistorik
Datum Dokument
2026-10-06 Meddelande om upphandling
2026-10-09 Meddelande om upphandling
2026-11-02 Meddelande om upphandling
Meddelande om upphandling (2026-10-06)
Objekt
Upphandlingens omfattning
Titel: Deep Reaction Ion Etcher (DRIE)
Kort beskrivning:
Myfab Uppsala aims at purchasing a Deep Reaction Ion Etcher (DRIE). The purpose of the tool is to transfer patterns defined by e.g., photo- and electron beam lithography covering the pattens size range from all substrate range down to a few nanometres. The system will be used by many operators in a university laboratory environment. It must be easy to use and be insensitive to frequent change of process between batches. The processes include broad range of etching capability: low to high etch rate, wafer dicing, high uniformity, high open area, high aspect ratio, and nanometre scale. The system is intended for etching of silicon as well as other materials compatible with silicon etching, with both photoresist resins and hard masks for patterning.
Visa mer
Typ av kontrakt: Varor
Produkter/tjänster: Industrimaskiner 📦
Beräknat värde exklusive moms: 1 SEK 💰
Beskrivning
Intern identifierare: urn:eavrop:mdn:ProcurementProject:121377:Lot:1
Land: Sverige 🇸🇪
Plats för genomförandet: Uppsala län 🏙️
Varaktighet
Startdatum: 2026-12-15 📅
Slutdatum: 2037-12-14 📅
Beskrivning
Högst antal förlängningar: 6
Ytterligare information om förlängningar: Up to 12 months per extension period
Information om alternativen
Alternativ ✅
Beskrivning av alternativen: Service agreement, updates, upgrades, accessories, and add-on functionalities.
Titel
Partiets identifikationsnummer: LOT-0001

Förfarande
Typ av förfarande
Öppet förfarande ✅
Rättslig grund: Direktiv 2014/24/EU
Administrativ information
Tidsfrist för mottagande av anbud eller begäran om deltagande: 2026-11-10 00:00:00 📅
Språk på vilka anbud eller ansökningar om deltagande kan lämnas in: engelska 🗣️
Minimitid under vilken anbudsgivaren måste upprätthålla anbudet: 3 månader
Villkoren för upphandlingen
Elektronisk fakturering: Krävs
Elektronisk betalning kommer att användas ✅

Upphandlande myndighet
Namn och adresser
Namn: Uppsala universitet
Nationellt registreringsnummer: 202100-2932
Postadress: Dag Hammarskjölds Väg 7
Postnummer: 752 37
Postort: Uppsala
Region: Uppsala län 🏙️
Land: Sverige 🇸🇪
E-post: info@uu.se 📧
Telefon: 018-471 00 00 📞
Typ av upphandlande myndighet
Ministerium eller annan central
Huvudsaklig verksamhet
Utbildning
Kommunikation
URL för dokument: https://www.e-avrop.com/uppsalauniv/e-Upphandling/NoticeLink.aspx?id=120368 🌏
URL för deltagande: https://www.e-avrop.com/uppsalauniv/e-Upphandling/NoticeLink.aspx?id=120368 🌏
Elektronisk inlämning: Tillåten

Kompletterande information
Granskningsorgan
Namn: Förvaltningsrätten i Uppsala
Nationellt registreringsnummer: 202100-2742
Postadress: Box 1853
Postnummer: 751 48
Postort: Uppsala
Region: Uppsala län 🏙️
Land: Sverige 🇸🇪
E-post: forvaltningsratteniuppsala@dom.se 📧
Telefon: +46 18-431 63 00 📞
URL: https://www.domstol.se/forvaltningsratten-i-uppsala/ 🌏
En tjänst där information om omprövningsförfarandet kan erhållas
Samma som: Granskningsorgan
Information om elektroniska arbetsflöden
Elektronisk fakturering kommer att accepteras
Källa: OJS 2026/S 195-693624 (2026-10-06)
Meddelande om upphandling (2026-10-09)
Objekt
Upphandlingens omfattning
Beräknat värde exklusive moms: 1 SEK 💰
Beskrivning
Högst antal förlängningar: 8

Ändringar
Text som skall rättas i det ursprungliga meddelandet
Partiets identifikationsnummer: LOT-0001
Nytt värde
Text: Maximum renewals has been modified
Annan kompletterande information
Maximum renewals has been modified
Huvudskälet till ändringen: Information uppdaterad
Information om ändringar
Version av det föregående meddelandet som ska ändras: 595e0aca-da98-46f7-ad1b-9f2972c2a64e-01
Källa: OJS 2026/S 197-700865 (2026-10-09)
Meddelande om upphandling (2026-11-02)
Objekt
Upphandlingens omfattning
Beräknat värde exklusive moms: 1 SEK 💰

Förfarande
Administrativ information
Tidsfrist för mottagande av anbud eller begäran om deltagande: 2026-11-17 00:00:00 📅

Ändringar
Text som skall rättas i det ursprungliga meddelandet
Partiets identifikationsnummer: LOT-0001
Nytt värde
Text: Deadline for receipt of tenders has been modified
Annan kompletterande information
Deadline for receipt of questions and recipt of tenders has been modified
Huvudskälet till ändringen: Rättelse av köparen
Information om ändringar
Version av det föregående meddelandet som ska ändras: 595e0aca-da98-46f7-ad1b-9f2972c2a64e-02
Källa: OJS 2026/S 213-763694 (2026-11-02)
Nya upphandlingar inom relaterade kategorier 🆕
Relaterade sökningar 🔍
Region:
Sverige Östra Sverige Stockholm Stockholms län Östra Mellansverige Uppsala län