Scope
Lund Nano Lab is planning to purchase an automated wafer processing cluster tool for spin coating and development. This system must contain process automation and be capable of performing sample preparation including adhesion promotion HMDS coating, resist spin-coating, sample baking and automated wet chemical development with minimum manual handling, via user-defined recipes. The system must be capable of handling several of our most sensitive and commonly used resists. A key attribute of the system will be the ability to form uniform and repeatable resist coating results and highly controlled development times of wafers post-exposure.
The tool must also contain several hotplates so that different temperatures can be programed simultaneously, and samples are transferred to these without user intervention via robotic arms.
Sista ansökningsdag
Tidsfristen för mottagande av anbud var 2022-11-11.
Upphandlingen offentliggjordes den 2022-10-11.
Leverantörer
Följande leverantörer nämns i tilldelningsbeslut eller andra upphandlingsdokument:
Objekt Upphandlingens omfattning
Titel: Automated Resist Processing System
V 2022/2095
Produkter/tjänster: Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas)📦
Kort beskrivning:
“Scope
Lund Nano Lab is planning to purchase an automated wafer processing cluster tool for spin coating and development. This system must contain process...”
Kort beskrivning
Scope
Lund Nano Lab is planning to purchase an automated wafer processing cluster tool for spin coating and development. This system must contain process automation and be capable of performing sample preparation including adhesion promotion HMDS coating, resist spin-coating, sample baking and automated wet chemical development with minimum manual handling, via user-defined recipes. The system must be capable of handling several of our most sensitive and commonly used resists. A key attribute of the system will be the ability to form uniform and repeatable resist coating results and highly controlled development times of wafers post-exposure.
The tool must also contain several hotplates so that different temperatures can be programed simultaneously, and samples are transferred to these without user intervention via robotic arms.
1️⃣
Ytterligare produkter/tjänster: Medicinsk utrustning, läkemedel och hygienartiklar📦
Plats för genomförandet: Skåne län🏙️
Beskrivning av upphandlingen:
“Scope
Lund Nano Lab is planning to purchase an automated wafer processing cluster tool for spin coating and development. This system must contain process...”
Beskrivning av upphandlingen
Scope
Lund Nano Lab is planning to purchase an automated wafer processing cluster tool for spin coating and development. This system must contain process automation and be capable of performing sample preparation including adhesion promotion HMDS coating, resist spin-coating, sample baking and automated wet chemical development with minimum manual handling, via user-defined recipes. The system must be capable of handling several of our most sensitive and commonly used resists. A key attribute of the system will be the ability to form uniform and repeatable resist coating results and highly controlled development times of wafers post-exposure.
The tool must also contain several hotplates so that different temperatures can be programed simultaneously, and samples are transferred to these without user intervention via robotic arms.
Visa mer Kriterier för tilldelning
Priset är inte det enda tilldelningskriteriet och alla kriterier anges endast i upphandlingsdokumenten
Varaktighet
Startdatum: 2023-01-01 📅
Slutdatum: 2023-12-31 📅
Kontraktets, ramavtalets eller det dynamiska inköpssystemets varaktighet
Detta avtal kan förnyas ✅ Beskrivning
Beskrivning av förnyelser: 5 extensions per 12 months
Förfarande Typ av förfarande
Öppet förfarande
Administrativ information
Tidsfrist för mottagande av anbud eller begäran om deltagande: 2022-11-11
23:59 📅
Språk på vilka anbud eller ansökningar om deltagande kan lämnas in: engelska 🗣️
Anbudet skall vara giltigt till och med: 2023-07-31 📅
Villkor för öppnande av anbud: 2022-11-12
00:00 📅
Kompletterande information Ytterligare information
Mercell notice: https://opic.com/id/afmyaxhrax Granskningsorgan
Namn: Förvaltningsrätten Malmö
Postort: Malmö
Land: Sverige 🇸🇪
Källa: OJS 2022/S 199-562673 (2022-10-11)
Meddelande om tilldelning (2023-03-07) Objekt Upphandlingens omfattning
Upphandlingens totala värde (exklusive moms): SEK 4 000 000 💰
Kriterier för tilldelning
Kvalitetskriterium (namn): Usability
Kvalitetskriterium (viktning): 40
Pris (korrigeringskoefficient): 60
Förfarande Administrativ information
Tidigare publikation om detta förfarande: 2022/S 199-562673
Tilldelning av kontrakt
1️⃣
Datum för ingående av avtalet: 2023-02-17 📅
Information om anbud
Antal mottagna anbud: 4
Entreprenörens namn och adress
Namn: LithExx-Systems GmbH
Nationellt registreringsnummer: 10,000,000
Postadress: Europastraße 8
Postort: Villach / Austria
Postnummer: A-9524
Land: Österrike 🇦🇹
E-post: falk.barnikol@lithexx-systems.com📧
Region: Kärnten 🏙️
Entreprenören är ett litet eller medelstort företag ✅ Uppgifter om kontraktets/partiets värde (exklusive moms)
Uppskattat totalt värde på kontraktet/lotten: SEK 4 000 000 💰
Kontraktets/lottens totala värde: SEK 4 000 000 💰
Kompletterande information Ytterligare information
Mercell notice: https://opic.com/id/afllkfwicj
Källa: OJS 2023/S 050-145171 (2023-03-07)