Atomic Layer Deposition System

Chalmers tekniska högskola AB

The department of Microtechnology and Nanoscience has need for a high accuracy and high uniformity deposition tool, for growing thin films of oxides, nitrides, metals and other materials, using the atomic layer deposition process. It will be placed in a ballroom style class 100 cleanroom (ISO 5), and will be used by a large number of operators in a university laboratory environment. It must be easy to use and insensitive to frequent change of process between batches. The system operation must be automatic and the loadlock must handle 200mm wafers/carriers.

Sista ansökningsdag

Tidsfristen för mottagande av anbud var 2012-04-10. Upphandlingen offentliggjordes den 2012-03-05.

Leverantörer

Följande leverantörer nämns i tilldelningsbeslut eller andra upphandlingsdokument:

• Oxford Instruments Gmbh

Vem?

• Chalmers tekniska högskola AB

Vad?

• Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas)

Var?

• Västsverige › Västra Götalands län

Upphandlingshistorik

Datum	Dokument
2012-03-05	Meddelande om upphandling
2012-08-06	Meddelande om tilldelning

Meddelande om upphandling (2012-03-05)
Objekt
Upphandlingens omfattning
Titel: Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas)
Meddelandeinformation
Originalspråk: engelska 🗣️
Dokumenttyp: Meddelande om upphandling
Kontraktets art: Varor
Reglering: Europeiska unionen
Gemensam upphandlingsterminologi (CPV)
Kod: Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas) 📦

Förfarande
Förfarandetyp: Öppet förfarande
Anbudstyp: Anbud på alla delar
Kriterier för tilldelning
Ospecificerat

Upphandlande myndighet
Identitet
Land: Sverige 🇸🇪
Upphandlande myndighet (typ): Regionalt eller lokalt organ
Upphandlande myndighet (namn): Chalmers tekniska högskola AB
Postadress: Chalmersplatsen
Postnummer: 412 96
Postort: Göteborg
Kontakt
E-post: sara.forsberg@chalmers.se 📧

Referens
Datum
Avsändningsdatum: 2012-03-05 📅
Sista anbudsdag: 2012-04-10 📅
Publiceringsdatum: 2012-03-09 📅
Identifierare
Meddelandenummer: 2012/S 48-078704
EUT-S-nummer: 48
Ytterligare information

“OPIC notice: http://www.opic.com/notice.asp?req=dirxsxmc. The contracting authority pay for the order of printed contract documents.”

Objekt
Upphandlingens omfattning
Kort beskrivning:
“The department of Microtechnology and Nanoscience has need for a high accuracy and high uniformity deposition tool, for growing thin films of oxides,...”
Plats för genomförandet
Huvudort eller plats för utförandet:
“Göteborg.”

Förfarande
Languages
Language: engelska 🗣️
svenska 🗣️

Upphandlande myndighet
Kontakt
Namn: Visma Opic AB
Postadress: Box 396
Postort: Linköping
Postnummer: 581 04
Land: Sverige 🇸🇪
Kontaktpunkt: Request
E-post: request@opic.com 📧
Fax: +46 134747560 📠
URL för dokument: http://www.opic.com/notice.asp?req=dirxsxmc 🌏

Referens
Ytterligare information

“OPIC notice: http://www.opic.com/notice.asp?req=dirxsxmc.”

“The contracting authority pay for the order of printed contract documents.”
Källa: OJS 2012/S 048-078704 (2012-03-05)

Meddelande om tilldelning (2012-08-06)
Objekt
Meddelandeinformation
Dokumenttyp: Meddelande om tilldelning

Förfarande
Anbudstyp: Ej tillämpligt
Kriterier för tilldelning
Det ekonomiskt mest fördelaktiga

Referens
Datum
Avsändningsdatum: 2012-08-06 📅
Publiceringsdatum: 2012-08-09 📅
Identifierare
Meddelandenummer: 2012/S 152-253656
Refererar till meddelande: 2012/S 48-078704
EUT-S-nummer: 152
Ytterligare information

“Visma Opic notice: http://www.opic.com/notice.asp?req=dibqjnvx.”

Förfarande
Kriterier för tilldelning
Kriterium: 1. System requirement specification compliance (55)
2. Price (30)
3. Quality (15)

Tilldelning av kontrakt
Namn: Oxford Instruments Gmbh
Land: Sverige 🇸🇪
Källa: OJS 2012/S 152-253656 (2012-08-06)

Nya upphandlingar inom relaterade kategorier 🆕

Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas) (>20 nya upphandlingar)