Electron Beam Lithography (EBL) Tool

Lunds universitet

Lund University, Department of Physics, Lund Nano Lab is acquiring an Electron Beam Lithography Tool. The instrument is intended for high resolution, repeatable patterning, equipped with a large writing field for high throughput patterning, and automated self-calibration routines to support long exposures with minimal errors due to beam drift. Finally, its flexible sample loading system must be configured for a wide range of samples from small pieces used for basic science, or wafers up to 8" in diameter for pilot production testing. With these properties, the Electron Beam Lithography Tool will become a central part of the Lund Nano Lab fabrication infrastructure and support a range of applications such as quantum devices, high-power electronics, metasurfaces and more. In addition to the instrument, the tender must include all associated costs such as warranty, packaging, insurance, on-site installation, commissioning, FAT, SAT, duty and transportation, training, documentation, support, development/software updates, charges under the Ordinance on Producer Responsibility for Packaging (2022:1274) etc.

Sista ansökningsdag

Tidsfristen för mottagande av anbud var 2026-11-05. Upphandlingen offentliggjordes den 2026-10-05.

Vem? Vad? Var?
Upphandlingshistorik
Datum Dokument
2026-10-05 Meddelande om upphandling
Meddelande om upphandling (2026-10-05)
Objekt
Upphandlingens omfattning
Titel: Electron Beam Lithography (EBL) Tool
Referensnummer: V 2026/287
Kort beskrivning:
Lund University, Department of Physics, Lund Nano Lab is acquiring an Electron Beam Lithography Tool. The instrument is intended for high resolution, repeatable patterning, equipped with a large writing field for high throughput patterning, and automated self-calibration routines to support long exposures with minimal errors due to beam drift. Finally, its flexible sample loading system must be configured for a wide range of samples from small pieces used for basic science, or wafers up to 8" in diameter for pilot production testing. With these properties, the Electron Beam Lithography Tool will become a central part of the Lund Nano Lab fabrication infrastructure and support a range of applications such as quantum devices, high-power electronics, metasurfaces and more. In addition to the instrument, the tender must include all associated costs such as warranty, packaging, insurance, on-site installation, commissioning, FAT, SAT, duty and transportation, training, documentation, support, development/software updates, charges under the Ordinance on Producer Responsibility for Packaging (2022:1274) etc.
Visa mer
Typ av kontrakt: Varor
Produkter/tjänster: Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas) 📦
Beräknat värde exklusive moms: 26 000 000 SEK 💰
Beskrivning
Intern identifierare: Electron Beam Lithography (EBL) Tool
Land: Sverige 🇸🇪
Plats för genomförandet: Skåne län 🏙️
Varaktighet
Startdatum: 2026-12-01 📅
Slutdatum: 2028-03-15 📅
Information om elektroniska kataloger
Anbuden skall presenteras i form av elektroniska kataloger eller innehålla en elektronisk katalog
Kriterier för tilldelning
Pris ✅
Titel
Partiets identifikationsnummer: LOT-0001
Beskrivning
Huvudort eller plats för utförandet: -

Förfarande
Typ av förfarande
Öppet förfarande ✅
Rättslig grund: Direktiv 2014/24/EU
Administrativ information
Tidsfrist för mottagande av anbud eller begäran om deltagande: 2026-11-05 23:59:00 📅
Språk på vilka anbud eller ansökningar om deltagande kan lämnas in: engelska 🗣️
Minimitid under vilken anbudsgivaren måste upprätthålla anbudet: 0 dagar
Villkoren för upphandlingen
Elektronisk katalog: Tillåten
Elektronisk fakturering: Krävs
Elektronisk beställning kommer att användas ✅
Elektronisk betalning kommer att användas ✅

Upphandlande myndighet
Namn och adresser
Namn: Lunds universitet
Nationellt registreringsnummer: 202100-3211
Postadress: Box 188
Postnummer: 221 00
Postort: Lund
Region: Skåne län 🏙️
Land: Sverige 🇸🇪
Kontaktpunkt: Maria Plaschke
E-post: maria.plaschke@eken.lu.se 📧
Telefon: +462220000 📞
URL: https://www.lu.se/ 🌏
Adress till köparprofilen: https://www.lu.se/ 🌏
Typ av upphandlande myndighet
Ministerium eller annan central
Huvudsaklig verksamhet
Utbildning
Kommunikation
URL för dokument: https://www.kommersannons.se/Lundsuniversitet/Notice/NoticeDispatch.aspx?NoticeId=62803 🌏
URL för deltagande: https://www.kommersannons.se/Lundsuniversitet/Notice/NoticeDispatch.aspx?NoticeId=62803 🌏
Elektronisk inlämning: Krävs

Kompletterande information
Granskningsorgan
Namn: Förvaltningsrätten i Malmö
Nationellt registreringsnummer: 202100-2742
Postadress: Kalendegatan 6
Postnummer: 21135
Postort: Malmö
Region: Skåne län 🏙️
Land: Sverige 🇸🇪
E-post: forvaltningsrattenimalmo@dom.se 📧
Telefon: +46 40353500 📞
En tjänst där information om omprövningsförfarandet kan erhållas
Samma som: Granskningsorgan
Förfarande för översyn
Exakt information om tidsfrister för omprövningsförfaranden: Se upphandlingsdokumenten
Information om elektroniska arbetsflöden
Elektronisk fakturering kommer att accepteras
Meddelandeinformation
Önskat offentliggörandedatum: 2026-10-07+02:00 📅
Källa: OJS 2026/S 194-690718 (2026-10-05)
Nya upphandlingar inom relaterade kategorier 🆕
Relaterade sökningar 🔍
Region:
Sverige Södra Sverige Sydsverige Skåne län