Defect, CD and overlay inspection tool

Kungliga Tekniska Högskolan

Purpose of procurement
KTH is seeking tenders for Defect, CD and overlay inspection tool
The purpose of the procurement is to acquire a semi-automatic equipment based on optical microscopy for measurements of critical dimensions and overlay on patterned wafers as well as well as automatic scanning of wafers (patterned and non-patterned) for defect detection and classification. The tool will be placed in the Electrum Laboratory clean room in a multi-user environment with research and fabrication. It is important that the tool is user friendly and flexible.

Sista ansökningsdag

Tidsfristen för mottagande av anbud var 2022-04-28. Upphandlingen offentliggjordes den 2022-03-24.

Leverantörer

Följande leverantörer nämns i tilldelningsbeslut eller andra upphandlingsdokument:

• Bergman Labora AB

Vem?

• Kungliga Tekniska Högskolan

Vad?

• Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas) › Instrument för kontroll av fysikaliska egenskaper

Var?

• Östra Sverige › Stockholm

Upphandlingshistorik

Datum	Dokument
2022-03-24	Meddelande om upphandling
2022-06-01	Meddelande om tilldelning

Meddelande om upphandling (2022-03-24)
Objekt
Upphandlingens omfattning
Titel: Instrument för kontroll av fysikaliska egenskaper
Referensnummer: V-2022-0155
Kort beskrivning:

Purpose of procurement KTH is seeking tenders for Defect, CD and overlay inspection tool The purpose of the procurement is to acquire a semi-automatic equipment based on optical microscopy for measurements of critical dimensions and overlay on patterned wafers as well as well as automatic scanning of wafers (patterned and non-patterned) for defect detection and classification. The tool will be placed in the Electrum Laboratory clean room in a multi-user environment with research and fabrication. It is important that the tool is user friendly and flexible.

Meddelandeinformation
Originalspråk: engelska 🗣️
Dokumenttyp: Meddelande om upphandling
Kontraktets art: Varor
Reglering: Europeiska unionen – inom ramen för avtalet om offentlig upphandling
Gemensam upphandlingsterminologi (CPV)
Kod: Instrument för kontroll av fysikaliska egenskaper 📦
Plats för genomförandet
NUTS-region: Stockholm 🏙️

Förfarande
Förfarandetyp: Öppet förfarande
Anbudstyp: Anbud på alla delar
Kriterier för tilldelning
Det ekonomiskt mest fördelaktiga

Upphandlande myndighet
Identitet
Land: Sverige 🇸🇪
Upphandlande myndighet (typ): Statligt verk
Upphandlande myndighet (namn): Kungliga Tekniska högskolan
Postadress: Drottning Kristinas väg 6
Postnummer: 114 28
Postort: Stockholm
Kontakt
Webbadress: http://www.kth.se 🌏
E-post: kedoff@kth.se 📧
URL för dokument: https://tendsign.com/doc.aspx?UniqueId=afqswuzbgl&GoTo=Docs 🌏
URL för deltagande: https://tendsign.com/doc.aspx?UniqueId=afqswuzbgl&GoTo=Tender 🌏

Referens
Datum
Avsändningsdatum: 2022-03-24 📅
Sista anbudsdag: 2022-04-28 📅
Publiceringsdatum: 2022-03-29 📅
Identifierare
Meddelandenummer: 2022/S 062-162508
EUT-S-nummer: 62
Ytterligare information
Mercell notice: https://opic.com/id/afqswuzbgl

Objekt
Upphandlingens omfattning
Kort beskrivning:

Purpose of procurement

KTH is seeking tenders for Defect, CD and overlay inspection tool

The purpose of the procurement is to acquire a semi-automatic equipment based on optical microscopy for measurements of critical dimensions and overlay on patterned wafers as well as well as automatic scanning of wafers (patterned and non-patterned) for defect detection and classification. The tool will be placed in the Electrum Laboratory clean room in a multi-user environment with research and fabrication. It is important that the tool is user friendly and flexible.

Varaktighet: 18 månader

Förfarande
Rättslig grund: 32014L0024
Tidpunkt för mottagande av anbud: 23:59
Språk på vilka anbud eller ansökningar om deltagande kan lämnas in: engelska 🗣️
svenska 🗣️
Anbudens giltighetstid: 2022-07-28 📅
Datum för öppnande av anbud: 2022-04-29 📅
Tidpunkt för öppnande av anbud: 00:00

Upphandlande myndighet
Identitet
Nationellt registreringsnummer: 202100-3054
Kontakt
Kontaktpunkt: Karin Edoff
URL för dokument: https://tendsign.com/doc.aspx?UniqueId=afqswuzbgl&GoTo=Docs 🌏

Kompletterande information
Granskningsorgan
Namn: Förvaltningsrätten i Stockholm
Postort: Stockholm
Land: Sverige 🇸🇪
Källa: OJS 2022/S 062-162508 (2022-03-24)

Meddelande om tilldelning (2022-06-01)
Objekt
Upphandlingens omfattning
Upphandlingens totala värde: 1 418 590 SEK 💰
Meddelandeinformation
Dokumenttyp: Meddelande om tilldelning

Förfarande
Anbudstyp: Ej tillämpligt
Kriterier för tilldelning
Lägsta pris

Referens
Datum
Avsändningsdatum: 2022-06-01 📅
Publiceringsdatum: 2022-06-03 📅
Identifierare
Meddelandenummer: 2022/S 107-298309
Refererar till meddelande: 2022/S 062-162508
EUT-S-nummer: 107
Ytterligare information
Mercell notice: https://opic.com/id/afgxpwjisv

Tilldelning av kontrakt
Datum för avtalstecknande: 2022-05-12 📅
Namn: Bergman Labora AB
Nationellt registreringsnummer: 556095-1401
Postadress: Box 705
Postort: Danderyd
Postnummer: 18217
Land: Sverige 🇸🇪
E-post: oliver.garner@bergmanlabora.se 📧
Webbadress: http://www.bergmanlabora.se 🌏
Upphandlingens totala värde: 1 418 590 SEK 💰
Information om anbud
Antal mottagna anbud: 2
Källa: OJS 2022/S 107-298309 (2022-06-01)

Nya upphandlingar inom relaterade kategorier 🆕

Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas) (>20 nya upphandlingar)

Instrument för kontroll av fysikaliska egenskaper (9)