UHV Magnetron Sputtering System

Linköpings universitet

A multisource UHV magnetron sputtering system with an intended update possibility of integrating arc evaporation source for thin film depositions.

Sista ansökningsdag
Tidsfristen för mottagande av anbud var 2012-08-31. Upphandlingen offentliggjordes den 2012-06-25.

Vem?

Vad?

Var?

Upphandlingshistorik
Datum Dokument
2012-06-25 Meddelande om upphandling
2012-08-24 Ytterligare upplysningar